Која е употребата на силициум нитрид во полупроводнички уреди?

Силициум нитрид (Si3N4)е соединение кое најчесто се користи во полупроводнички уреди поради неговите уникатни електрични, термички и механички својства. Еве некои од главните употреби на силициум нитрид во технологијата на полупроводници:

1. Изолатор на портата:Силициум нитридчесто се користи како изолатор на портата во уредите со метал-оксид-полупроводник (MOS). Дејствува како диелектричен слој помеѓу електродата на металната порта и основната силициумска подлога, обезбедувајќи електрична изолација. Силициум нитрид има висока диелектрична константа (релативна пропустливост) и ефикасно го блокира протокот на електрична струја. Неговите одлични изолациски својства помагаат да се одржи контролата врз протокот на полнење во уредот.

2. Пасивација: Силиконскиот нитрид често се користи како пасивационен слој во полупроводниците за да се заштити структурата на активната уред од надворешни загадувачи, влага и физичко оштетување. Тоа помага да се подобри долгорочната доверливост и стабилност на уредот со спречување на дифузија на нечистотии, намалување на тековното истекување и обезбедување заштитна бариера против миграција на јони.

3. Дифузиона бариера: Силиконскиот нитрид може да делува како бариерен слој за да спречи несакана дифузија на допанти или нечистотии од соседните слоеви. Може да се користи за изолирање на различни региони на полупроводнички уред, спречувајќи несакани интеракции и обезбедувајќи правилна функционалност.

4. Еч маска: Силиконскиот нитрид е отпорен на многу офортувачи кои вообичаено се користат во процесите на производство на полупроводници. Може да се обликува и селективно да се гравира за да се создадат сложени структури на уреди или да се дефинираат обрасци за следните чекори на обработка. Неговата отпорност на офорт го прави идеален материјал за употреба како маска за офорт или тврда маска во различни процеси на литографија и офорт.

5. MEMS и сензори: Силициум нитрид наоѓа широка употреба во микроелектромеханички системи (MEMS) и апликации за сензори. Неговите одлични механички својства, вклучувајќи висока цврстина, цврстина и отпорност на абење, го прават погоден за употреба како структурен материјал во микросензори и микроактиватори.

Генерално,силициум нитридигра клучна улога во дизајнот, изработката и изведбата на полупроводничките уреди, придонесувајќи за нивната електрична изолација, заштита и подобрување на карактеристиките на уредот. Неговите својства го прават разновиден и широко користен материјал во индустријата за полупроводници.